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武汉格蓝若精密技术有限公司联合华中科技大学院士团队，依托减隔振 - 稳姿协同、解耦控制、融合控制、负刚度、变阻尼等技术，研发精密主动减振控制系统及调测系统。针对半导体等振动敏感行业及设备，提供通用与定制化超精密高性能减振系统集成解决方案，及减隔振调试服务，满足其减隔振需求。主动减振产品面世一年时间，其销售订单额已突破1亿元，技术性能达到同类产品国内先进水平。
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精密主动减振控制系统
精密主动减振控制系统旨在满足半导体及其他领域对于振动敏感的设备的地基高性能隔振需求、抗冲击干扰需求。 主要实现六自由度减振器的精密主动控制，包括空气弹簧定位控制、洛伦兹电机的控制等。 通过地音传感器，电涡流位移传感器实现减振器六自由度的解耦，以及采用定位-隔振复合控制策略，使减振器之上的负载姿态保持良好的稳定，以及地基振动的衰减。此外还具有负载之上外部扰动如工件台、掩膜台冲击抑制功能。